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        上海精宏

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        ICP-MS檢測半導(dǎo)體級樣品注意事項

        返回列表 來源:未知 發(fā)布日期:2019-07-01 09:25【

        ICP-MS可適用于ppt級的元素和亞ppt級的元素分析,因此常用于半導(dǎo)體行業(yè),分析超痕量的雜質(zhì)。如下介紹主要的影響因素。

         

        儀器運行環(huán)境

         

        半導(dǎo)體設(shè)備中出現(xiàn)污染,會使產(chǎn)品性能惡化。堿金屬、堿土金屬造成的污染降低擊穿電壓,過渡金屬造成的污染縮短載流子壽命,增加暗電流。因此必須控制污染。但是,這些污染存在于大氣中各個角落,所以通過ICP-MS檢測的樣品必須特別注意不要受這些污染影響。最好的方法是在潔凈室進(jìn)行檢測。

         

        ICP-MS在潔凈室內(nèi)使用,其前級真空泵最好放置在潔凈室外部,只將儀器主機(jī)放置在潔凈室。用于冷卻儀器的空氣從外流到內(nèi),并從上部的排風(fēng)管排出,使灰塵粒子被控制在最小值。潔凈室的潔凈度常用空氣只微粒子來表示。1000級表示直徑>0.5μm的粒子≤1000個/立方英尺。一般大氣中為100萬級。為保證10~1級的潔凈度,潔凈室內(nèi)部的空氣流通盡量采用高架回風(fēng),是室內(nèi)的空氣可以向下流通。配置樣品和標(biāo)準(zhǔn)溶液時需在100級以下的通風(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行,一般此類通風(fēng)櫥會在頂部再增加一級過濾FFU,以此來保證作業(yè)過程中的潔凈度。

         

        樣品引入系統(tǒng)/接口

         

        為避免污染,上海精宏提醒您,必須特別注意樣品引入系統(tǒng)的選擇和清潔。用于檢測半導(dǎo)體樣品的樣品引入系統(tǒng)、接口于其他樣品檢測不同,相關(guān)配置如下。

         

        霧化器,蠕動泵管有時會造成極微量污染,進(jìn)行超微量檢測是適用于自吸進(jìn)樣。自吸進(jìn)樣時,霧化器使用同心霧化器、交叉霧化器或微流霧化器。

         

        接口,一般ICP-MS7700S有兩種接口(Ni、Pt),都可以用于半導(dǎo)體樣品檢測。使用Ni錐接口時,Ni的背景檢出限為50ppt左右。而Pt錐接口可以對很多酸有耐受性,適合超純酸的檢測。

         

        某些元素具有記憶效應(yīng),這些元素的氧化物易留在接口上,如Ca、Al、Si、U、Th和稀土元素等。這些記憶效應(yīng)可以通過在2%的硝酸中浸泡去除。但是,有時需要沾有氧化鋁懸濁液的棉簽進(jìn)行擦拭去除。

         

        樣品引入系統(tǒng)/接口的清洗

         

        如果長時間在空氣中放置可能會有污染,所以使用前用超純水充分清洗。另外,清洗時必須戴手套。

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